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半导体芯片制造工

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典型的GaAsMESFET结构IC的工艺流程？

正确答案: 存底的制备----硅氧化---生长埋层---外延生长---生长隔离区---生长基区---发射区及集电极接触区生长---形成金属互连---集成电路成品。
答案解析:有
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