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集成电路制造工艺员

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为了防止抽气设备对离子注入系统的油污染,可在靶室前增加一个()或采用无油泵。

  • A、液氮冷阱
  • B、净化阱
  • C、抽气阱
  • D、无气泵
正确答案:A
答案解析:
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