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集成电路制造工艺员

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（）的方法有利于减少热预算。

  • A、高压氧化
  • B、湿氧氧化
  • C、掺氯氧化
  • D、氢氧合成氧化
  • E、等离子增强氧化
正确答案:A,E
答案解析:有
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