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半导体芯片制造工

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说明水汽氧化的化学反应,水汽氧化与干氧氧化相比速度是快还是慢?为什么?

正确答案:化学反应:Si+2H2O->SiO2+2H2
水汽氧化与干氧氧化相比速度更快,因为水蒸气比氧气在二氧化硅中扩散更 快、溶解度更高
答案解析:
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