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半导体芯片制造工
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半导体芯片制造工
说明水汽氧化的化学反应，水汽氧化与干氧氧化相比速度是快还是慢？为什么？
正确答案:
化学反应：Si+2H
2
O->SiO
2
+2H
2
水汽氧化与干氧氧化相比速度更快，因为水蒸气比氧气在二氧化硅中扩散更 快、溶解度更高
答案解析:
有
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