例出典型的硅片湿法清洗顺序。
正确答案:硅片清洗步骤：
（1）H2SO4/H2O2（piranha）：有机物和金属；
（2）UPW清洗（超纯水）：清洗；
（3）HF/H2O（稀HF）：自然氧化层；
（4）UPW清洗：清洗；
（5）NH4OH/H2O2/H2O（SC-1）：颗粒；
（6）UPW清洗：清洗；
（7）HF/H2O：自然氧化层；
（8）UPW清洗：清洗；
（9）HCL/H2O2/H2O（SC-2）：金属；
（10）UPW清洗：清洗；
（11）HF/H2O：自然氧化层；
（12）UPW清洗：清洗；
（13）干燥：干燥。
（1）H2SO4/H2O2（piranha）：有机物和金属；
（2）UPW清洗（超纯水）：清洗；
（3）HF/H2O（稀HF）：自然氧化层；
（4）UPW清洗：清洗；
（5）NH4OH/H2O2/H2O（SC-1）：颗粒；
（6）UPW清洗：清洗；
（7）HF/H2O：自然氧化层；
（8）UPW清洗：清洗；
（9）HCL/H2O2/H2O（SC-2）：金属；
（10）UPW清洗：清洗；
（11）HF/H2O：自然氧化层；
（12）UPW清洗：清洗；
（13）干燥：干燥。
答案解析:有
微信扫一扫手机做题