简述抗反射膜的工作原理。

正确答案: 当光入射到光电器件的表面时总会有一些光被反射回来，除增加耦合损耗外，还会对系统产生不利的影响，为此需要在器件表面镀一层电介质材料，以便减少反射，如图1.3.6所示。在该例中，空气折射率，器件材料是硅，，电介质材料选用，其折射率，在空气和硅器件折射率之间。当入射光到达空气和抗反射膜界面时，标记为A的一些光被反射回来，因为它是外反射，所以反射光与入射光相比有180o的相位变化。该光波在电介质材料中传播，当到达抗反射膜和器件界面时，除大部分光进入器件外，一些光又被反射回来，标记为B。因为，还是外反射，B光仍有180o的相位变化，而且当它从抗反射膜出来时，已经受了2d距离的传输延迟，d为抗反射膜的厚度。其相位差为，这里是电介质材料的波矢量，并且，式中是光在电介质材料抗反射膜中的波长。因为，这里 是自由空间波长，反射光A和B间的相位差是