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半导体芯片制造工

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解释离子束扩展和空间电荷中和。

正确答案:由于电荷之间的相互排斥,所以一束仅包括正电荷的离子束本身是不稳定的,容易造成离子束的膨胀即离子束的直径在行进过程中不断的增大,最终导致注入不均匀。离子束可以用二次电子中和离子的方法缓解,被称为空间电荷中和。
答案解析:
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