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平板显示技术考试
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举例说明PECVD成膜的使用的气体及反应方程。
正确答案:
PECVD制备a-Si：H薄膜的，使用的气体是SiH
4
、H
2
，成膜温度大约为315℃，反应方程为：
答案解析:
有
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