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半导体芯片制造工

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按蒸发源加热方法的不同,真空蒸发工艺可分为:()蒸发、()蒸发、离子束蒸发等。

  • A、电阻加热
  • B、电子束
  • C、蒸气原子
正确答案:A,B
答案解析:
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