多做题,通过考试没问题!

半导体芯片制造工

睦霖题库>通信电子计算机技能考试>半导体芯片制造工

什么是离子分布的偏斜度和峭度,和标准高斯分布有什么区别?

正确答案: 非对称性常用偏斜度γ(skewness)表示:γ为负值表明杂质分布在表面一侧的浓度增加,即x<Rp区域浓度增加。畸变用峭度β(kurtosis)表示:峭度越大,高斯曲线的顶部越平,标准高斯曲线的峭度为3。LSS的理论是呈标准的高斯分布,不同的杂质会不同程度地偏离对称的高斯分布。如图中所示。
答案解析:
进入题库查看解析

微信扫一扫手机做题