有一台变间隙非接触式电容测微仪，其传感器的极板半径r=4mm，假设与被测工件的初始间隙d0=0.3mm。试求：如果传感器与工件的间隙变化量△d=±10μm，电容变化量为多少？
正确答案:由，则当Δd=±10um时
如果考虑d1=0.3mm+10μm与d2=0.3mm﹣10μm之间的电容变化量ΔC′
则应为ΔC′=2
ΔC
=2×0.049=0.098pF
如果考虑d1=0.3mm+10μm与d2=0.3mm﹣10μm之间的电容变化量ΔC′
则应为ΔC′=2
ΔC
=2×0.049=0.098pF
答案解析:有
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