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平板显示技术考试
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平板显示技术考试
简述7次光刻的第二次光刻中O
2
灰化的作用。
正确答案:
O
2
灰化是在4层CVD之后阻挡层i/sSiN
x
膜的上面进行氧气O
2
等离子体处理，把表面具有亲水性的i/sSiN薄膜变成疏水性的SiO
x
薄膜，增强与光刻胶的附着性。
答案解析:
有
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