超精密加工技术

正确答案: 加工精度在0.1~0.01um，表面粗糙度Ra在0.03~0.05um的加工技术，如金刚石刀具超精密切削、超精密磨料加工、超精密特种加工和复合加工等，使用于精密元件、计量标准元件、大规模和超大规模集成电路的制造，目前超精密加工的精度正处在亚纳米级工艺，正在向纳米级工艺发展。

答案解析:有

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