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集成电路制造工艺员
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集成电路制造工艺员
在刻蚀（）过程中假如我们在CF
5
的等离子体内加入适量的氧气，能够提高刻蚀的速率。
A、铜
B、铝
C、金
D、二氧化硅
正确答案:
D
答案解析:
有
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