简述提高IGZO TFT性能的方法。
正确答案:1）改善非晶金属氧化物IGZO沉积条件、控制退火温度和存放环境等；
2）改善栅极绝缘层和非晶金属氧化物IGZO形成的界面。栅极绝缘层表面粗糙度越低，表面的缺陷态越少，成膜的质量越高，TFT的性能越好；
3）提高非晶金属氧化物IGZO钝化层性质。
2）改善栅极绝缘层和非晶金属氧化物IGZO形成的界面。栅极绝缘层表面粗糙度越低，表面的缺陷态越少，成膜的质量越高，TFT的性能越好；
3）提高非晶金属氧化物IGZO钝化层性质。
答案解析:有
微信扫一扫手机做题