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半导体芯片制造工
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半导体芯片制造工
以P
2
O
2
为例说明SiO
2
的掩蔽过程。
正确答案:
以P
2
O
2
杂质源为例来说明SiO
2
的掩蔽过程:当P
2
O
2
与SiO
2
接触时,SiO
2
就转变为含磷的玻璃体。A.扩散刚开始,只有靠近表面的SiO
2
转变为含磷的玻璃体。B.大部分SiO
2
层已转变为含磷的玻璃体。C.整个SiO
2
层都转变为含磷的玻璃体。D.在SiO层完全转变为玻璃体后,又经过一定时间,SiO
2
层保护的硅中磷已经扩进一定深度。
答案解析:
有
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