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集成电路制造工艺员

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下列可作为磷扩散源的是（）。

  • A、磷钙玻璃
  • B、三氯氧磷
  • C、三氯化磷
  • D、磷烷
  • E、掺磷二氧化硅乳胶源
正确答案:A,B,C,D,E
答案解析:有
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