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半导体芯片制造工

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应力分为压应力和张应力,下图的形状是由于哪种应力产生的?请在图上标出应力的方向。如果要让上面的结构材料变得平整,要怎么做?

正确答案: 张应力(张的时候产生的应力)与压应力(压的时候产生的应力)
在张应力作用下,薄膜会相对衬底进行收缩•可能由薄膜与衬底的热膨胀系数差异引起•悬浮的薄膜如果是通过两个锚点与衬底相连,薄膜会被衬底拉伸而保持平整在压应力作用下,薄膜相对于衬底膨胀•悬浮的薄膜如果通过两个锚点与衬底相连,薄膜会弯曲
答案解析:
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