多做题,通过考试没问题!

能源科学技术

睦霖题库>大学试题(工学)>能源科学技术

对减反射膜材料的总体要求;TiO2膜制备工艺,反应方程式。

正确答案: 要求:能具有良好的减反射效果,还要求透明度好,热膨胀系数少,与硅片粘附性好,抗辐射,耐腐蚀。喷涂热(水)解法工艺:利用N2携带含钛酸异丙酯的水蒸气,喷涂到加热的硅片上表面,发生水解反应。反应:Ti(OC3H7)+2H2O==TiO2+4(C3H7)OH
答案解析:
进入题库查看解析

微信扫一扫手机做题